System-Softwareentwicklung Anlagensteuerung / VxWorks

Kategorie System-Softwareentwicklung Anlagensteuerung / VxWorks
Firma Carl Zeiss SMT GmbH
Schwerpunkt Unterstützung bei der Entwicklung der System-Software für eine komplexe Messmaschine für Fotomasken in der Chipherstellung
Zeitraum seit Q1 2017
Team 1 Mann
Beschreibung Die AIMS™ EUV Maschine ist eine hochkomplexe Messmaschine, welche seit 2009 von der Firma ZEISS SMT GmbH am Standort Oberkochen entwickelt wird. Die Maschine wird von den weltweit führenden Halbleiterherstellern in Zukunft eingesetzt werden, um die Herstellung der neuesten Generation von Mikrochips zu ermöglichen. Dazu untersucht sie die für den Fotolithografie-Prozess benötig-ten Fotomasken mit Hilfe von extrem ultravioletten Licht (EUV) auf Defekte. Da dies aufgrund der kurzen Wellenlänge des EUV Lichts von 13,5 Nanometern nur unter Vakuum und unter Zuhilfenahme verschiedener Gase geschehen kann, be-nötigt die Maschine eine komplexe Vakuum- und Prozessgasinfrastruktur.

Die Aufgaben umfassen aktuell:
Entwicklung eines Simulationsprogramms für die SPS der Maschinensteuerung.
Entwicklung / Erweiterung der Schnittstelle zwischen der SPS und dem Master-Controller für größere Datenmengen.
Integration eines Datenmanagement-Moduls zur Bereitstellung relevanter Daten im Gesamtsystem.
Erstellen von Ablaufplänen mit Enterprise-Architect

Tools und Technologien VxWorks Real-Time OS
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ACCON AGLink
Enterprise-Architect (EA)
SVN