Applikationsentwicklung mit C#

Kategorie Applikations-Entwicklung mit C#
Firma Carl Zeiss SMT GmbH
Schwerpunkt Entwicklung einer Windows Applikation zur Simulation einer SPS in einer komplexe Messmaschine für Fotomasken in der Chipherstellung
Zeitraum Q1 bis Q4 2018
Beschreibung Die AIMS™ EUV Maschine ist eine hochkomplexe Messmaschine, welche seit
2009 von der Firma ZEISS SMT GmbH am Standort Oberkochen entwickelt wird.
Die Maschine wird von den weltweit führenden Halbleiterherstellern in Zukunft eingesetzt
werden, um die Herstellung der neuesten Generation von Mikrochips zu
ermöglichen. Dazu untersucht sie die für den Fotolithografie-Prozess benötigten
Fotomasken mit Hilfe von extrem ultravioletten Licht (EUV) auf Defekte. Da dies
aufgrund der kurzen Wellenlänge des EUV Lichts von 13,5 Nanometern nur unter
Vakuum und unter Zuhilfenahme verschiedener Gase geschehen kann, benötigt
die Maschine eine komplexe Vakuum- und Prozessgasinfrastruktur. Die Steuerung
der Maschine erfolgt über eine SPS (Siemens S7).
Die Aufgaben:
· Entwicklung eines Simulationsprogramms für die SPS der Maschinensteuerung.
· Nachbildung der wichtigsten Abläufe, wie z.B. Schrittketten, in der Simulation.
· Nachbildung der Kommunikationsabläufe.
· Visualisierung wichtiger Statusdaten und Systemparameter.
· Möglichkeit zur Manipulation von Daten durch den Anwender für Testzwecke.
Die Entwicklung erfolgte mit Visual-C# unter MS Windows.
Tools und Technologien Visual C#
Siemens S7